基于独⽴双传感器的创新设计,通过精确协同与优化配置,确保每个传感器都能在专属领域内发挥出独⼀⽆⼆的优势,促进了传感器之间的互补性,给⽤⼾带来最优质的使⽤体验。
传感器切换⽅便,巧妙的机械结构设计,使得轮廓传感器与粗糙度传感器在互换时更加省时省⼒。
基于独⽴双传感器的创新设计,通过精确协同与优化配置,确保每个传感器都能在专属领域内发挥出独⼀⽆⼆的优势,促进了传感器之间的互补性,给⽤⼾带来最优质的使⽤体验。
传感器切换⽅便,巧妙的机械结构设计,使得轮廓传感器与粗糙度传感器在互换时更加省时省⼒。
型号 | CER | |
测量范围 | X轴 | 120-220mm |
X轴分辨率 | 0.1μm | |
Z轴 | 320-620mm | |
轮廓传感器 | Z1轴量程 | 30-60mm |
Z1分辨率 | 0.02μm | |
轮廓精度 | Z1线性精度 | <±(0.8+|0.05H|)μm |
圆弧 | 士(2+R/8)μm | |
圆弧Pt | / | |
角度 | ±2′ | |
直线度 | 0.5um/100mm (截止波长2.5) | |
粗糙度传感器 | 量程 | ±420μm |
分辨率 | 65536:1 | |
粗糙度精度 | 指示精度 | ≤±(10nm +3.5%) |
残值噪声 | ≤0.010μm | |
重复性 | 1δ≤2nm | |
截止波长 | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | |
评定长度 | λC×2、3、4、5、6、7 |
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