基于独立双传感器的创新设计,通过精确协同与优化配置,确保每个传感器都能在专属领域内发挥出独一无二的优势,促进了传感器之间的互补性,给用户带来最优质的使用体验。
传感器切换方便,巧妙的机械结构设计,使得轮廓传感器与粗糙度传感器在互换时更加省时省力。
基于独立双传感器的创新设计,通过精确协同与优化配置,确保每个传感器都能在专属领域内发挥出独一无二的优势,促进了传感器之间的互补性,给用户带来最优质的使用体验。
传感器切换方便,巧妙的机械结构设计,使得轮廓传感器与粗糙度传感器在互换时更加省时省力。
型号 | CQR | |
测量范围 | X轴 | 120-220mm |
X轴分辨率 | 0.1μm | |
Z轴 | 420、620mm可选 | |
轮廓传感器 | Z1轴量程 | 30-60mm可选 |
Z1分辨率 | 0.02μm | |
轮廓精度 | Z1线性精度 | ≤±(0.6+|0.02H|)μm |
圆弧 | 士(1.5+R/12)μm | |
角度 | ±1′ | |
直线度 | 0.5um/100mm(截止波长0.8) | |
测量速度 | 2mm/s | |
粗糙度传感器 | 量程 | ±420μm |
分辨率 | 65536:1 | |
粗糙度精度 | 指示精度 | ≤±(8nm +3.5%) |
残值噪声 | ≤0.008μm | |
重复性 | 1δ≤1.5nm | |
截止波长 | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | |
评定长度 | λC×2、3、4、5、6、7 |
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