测量功能:裙部横截面型线、裙部纵截面型线
采用双传感器结构,直接测量直径变化量
双传感器结构的优点有:
(1)直接测量,无需调整
(2)最大程度降低机械误差对测量的影响
采用斧形测钴,避免装夹倾斜带来的误差
软件具有短轴、零位校正功能
测量功能:裙部横截面型线、裙部纵截面型线
采用双传感器结构,直接测量直径变化量
双传感器结构的优点有:
(1)直接测量,无需调整
(2)最大程度降低机械误差对测量的影响
采用斧形测钴,避免装夹倾斜带来的误差
软件具有短轴、零位校正功能
项目 | PSP100 | PSP200 | PSP300 |
主轴类型 | 摩擦轴系 | ||
主轴精度 | 0.5μm | ||
圆周采样点数 | 8192 | ||
测量高度 | 100mm | 200mm | 300mm |
测量直径 | 100mm | 150mm | 200mm |
立柱直线度 | 1μm/100mm | 0.5μm/100mm | 0.3μm/100mm |
立柱分辨率 | 0.5μm | 0.2μm | 0.1μm |
传感器量程 | ±500μm | ||
传感器最高分辨率 | 0.5μm | 0.1μm | 0.01μm |
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