采用波速参数评估圆轮廓的波纹度,与行业主流波纹度控制方式一致,测量结果可与行业主流溯源。
高带宽、高信噪比的传感系统,有效测得圆轮廓的微观形貌。
“静享平稳”,超强的隔振措施能有效隔离环境振动,保证测量的准确性及稳定性。
采用波速参数评估圆轮廓的波纹度,与行业主流波纹度控制方式一致,测量结果可与行业主流溯源。
高带宽、高信噪比的传感系统,有效测得圆轮廓的微观形貌。
“静享平稳”,超强的隔振措施能有效隔离环境振动,保证测量的准确性及稳定性。
项目 | WES1000 | WES2000 | |
旋转工作台 | 回转精度 | (0.025+6H/10000)μm | |
最大测量直径 | 80mm | 200mm | |
最大检测高度 | 60mm | 180mm | |
最大回转直径 | 100mm | 200mm | |
垂直轴 | 移动方式 | 手动 | |
垂直移动 | 13mm | 220mm | |
水平臂 | 水平移动 | 13mm | 120mm |
水平移动方式 | 手动 | ||
检测器 | 传感器量程 | ±500μm、±300μm、±150μm、±75μm(可自由切换) | |
传感器分辨率 | 最高0.001μm | ||
圆周采样点数 | 28800 | ||
谐波分析 | 分析波段 | 2/10000 | |
线性精度 | 2nm+4% | 3nm+5% | |
固有频率 | 2-3Hz |
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