超微传感：0.001μm级分辨率传感器，精准捕捉纳米级表面形貌特征
精密运动：高刚性空气轴承回转系统（径向跳动≤0.05μm），确保测量基准稳定性
抗扰采集：宽频信号处理能力，实现纯净信号提取
智能隔振：多级隔振系统，有效隔离环境微振动干扰
自动圆柱度谐波分析测量仪FFT-CYA系列
产品参数PRODUCT PARAMETERS
| 型号 | FFT-CYA | FFT-CYA-2 | |
| 回转轴系 | FFT max1 | 0.04μm | 0.04μm |
| FFT max2 | 0.025μm | 0.025μm | |
| FFT max3 | 0.015μm | 0.015μm | |
| 旋转速度 | 6rpm | 6rpm | |
| 最大测量直径 | 300mm | 300mm | |
| 最大工件直径 | 450mm | 450mm | |
| 传感器 | 传感器量程范围 | ±500μm | ±500μm |
| 传感器线性精度 | 3nm+5% | 3nm+5% | |
| 传感器分辨率 | 0.001μm | 0.001μm | |
| 水平臂 | 水平移动范围 | 165mm | 165mm |
| 水平凸出量 | 25mm | 25mm | |
| 圆周检测器 | 圆周采样点数 | 16384 | 32768 |
| 圆周分度精度 | 0.6/1000 | 2/10000 | |
| 减振系统 | 减振方式 | 橡胶减振 | 混合减振（橡胶+气浮） |
| 刚性支架 | 方钢龙骨 | 方钢龙骨 | |
