超微传感：0.001μm级分辨率传感器，精准捕捉纳米级表面形貌特征
精密运动：高刚性空气轴承回转系统（径向跳动≤0.05μm），确保测量基准稳定性
抗扰采集：宽频信号处理能力，实现纯净信号提取
智能隔振：多级隔振系统，有效隔离环境微振动干扰
自动圆柱度谐波分析测量仪FFT-CYA系列
产品参数PRODUCT PARAMETERS
| 型号 | FFT-CYA | ||
| 旋转工作台 | 回转精度 | （0.025+6H/10000）μm | |
| 旋转速度 | 6、8、10rpm | ||
| 工作台有效直径 | 280mm | ||
| 最大测量直径 | 300mm | ||
| 最大回转直径 | 450mm | ||
| 台面承重 | 20、30kg可选 | ||
| 垂直轴 | 直线度 | 0.3μm/100mm | |
| 移动方式 | 电动 | ||
| 垂直移动 | 300、480、600mm可选 | ||
| 水平臂 | 水平移动 | 165mm | |
| 凸出量 | 25mm | ||
| 水平移动方式 | 电动 | ||
| 检测器 | 传感器量程 | ±500μm | |
| 传感器分辨率 | 最高0.001μm | ||
| 采集器件 | 圆光栅 | ||
| 圆周采样点数 | 14400 | ||
| 谐波分析模块 | 圆光栅分度精度 | 2/10000 | 0.6/1000 |
| 分析波段 | 1-512upr | 1-150upr | |
| 线性精度 | 3nm＋5% | ||
| 固有频率 | 2-3Hz | 3-5Hz | |
