超微传感:0.001μm级分辨率传感器,精准捕捉纳米级表面形貌特征
精密运动:高刚性空气轴承回转系统(径向跳动≤0.05μm),确保测量基准稳定性
抗扰采集:宽频信号处理能力,实现纯净信号提取
智能隔振:多级隔振系统,有效隔离环境微振动干扰
超微传感:0.001μm级分辨率传感器,精准捕捉纳米级表面形貌特征
精密运动:高刚性空气轴承回转系统(径向跳动≤0.05μm),确保测量基准稳定性
抗扰采集:宽频信号处理能力,实现纯净信号提取
智能隔振:多级隔振系统,有效隔离环境微振动干扰
项目 | 参数名称 | FFT-CYA |
谐波分析 | 分析波段 | 1-512upr |
回转轴系 | FFT max1 | 0.03μm |
FFT max2 | 0.02μm | |
FFT max3 | 0.01μm | |
旋转速度 | 6rpm | |
最大测量直径 | 300mm | |
最大工件直径 | 450mm | |
传感器 | 传感器量程范围 | ±500μm |
传感器分辨率 | 最高0.001μm | |
水平臂 | 水平移动范围 | 165mm |
水平凸出量 | 25mm | |
圆周检测器 | 圆周采样点数 | 16384 |
圆周分度精度 | 2/10000 | |
隔振系统 | 隔振方式 | 全频带隔振 |
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